一、RMG-1303是适用于RF溅射、CVD、刻蚀等，等离子工艺的13.56MHz，300W功率的匹配器一体式RF电源。

匹配器和RF电源一体化设计，体积小、重量轻。适用于从研究开发设备到量产设备的广泛领域。

二、

可通过低输出功率进行控制

可通过1W的低输出功率进行控制

标准配备脉冲RF输出功能

标准搭载500Hz～100KHz的脉冲RF输出功能，可在低功率下进行控制

标配外部同步端子

标准搭载端子（BNC端子），用于叠加操作的13.56MHz同步信号的输入和输出

AC100V~AC220V的广泛输入

单相100V~220V/50Hz~60Hz的广泛输入

体积小、重量轻

200mm×200mm×350mm/10Kg的小型轻量化电源

支持各种规格

RoHS、CE、KC、SEMI-F47兼容

三、

溅射设备

CVD设备

等离子清洗设备

等离子刻蚀设备

等离子去胶设备

RF离子源

射频中和器

四、