为满足半导体先进制程发展对大排气量分子泵的需求，全球领先的真空设备及尾气处理解决方案提供商——Edwards Vacuum推出了具有优化气体流量和温度管理功能的STP-iXA4507系列磁悬浮分子泵，能够有效应对各种严峻工艺挑战。

该系列分子泵具有超卓的抽速和排气量，特别适用于半导体刻蚀、FPD刻蚀、PVD等大流量工艺。

该系列分子泵采用磁悬浮技术，不依靠机械轴承运转，降低运营和维护成本。

【特点与优势】

√ 体化解决方案

•完全集成的控制器和电源消除了对电缆和单独控制器机架的需求，从而实现了低成本、紧凑型设计、安装快捷方便和占地面积小。

√ 性能更佳

• 与同类产品相比，最大连续流量提高60%以上。

• 抽速提升2%-8%，有效缩短腔体抽空时间。

√ 温度管理系统

• 温度管理系统(TMS)装置可用于生成副产物的工艺。

• B *涂层适用于TMS的高排气量工艺。

√ 高效节能

• 分子泵可在高达 35°C 的冷却水条件下高效运行。

• 优化的结构设计，功耗仅相当于同类产品65-75%。

√ 通讯

• I/O Remote、RS232、RS485、STP-Link标准端口。

• EtherCAT可以作为选配方案。

可选功能：转子温度传感器

•转子温度报警可以降低碎泵风险和提高机台运行时间。